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LDI曝光机精密大理石直线电机应用方案

LDI曝光机精密大理石直线电机应用方案

    所属行业:半导体
    设备名称:LDI曝光机
    行业应用:线路板外层、柔性线路板等
    使用环境:恒温车间
    结 构:大理石龙门
    配置说明:KYAC4000系列电机、RSF光栅编码器、Rexroth/THK导轨、ACS运动控制器
    方案特点:采用智赢无无铁芯直线电机,最高可以实现运动轴千分之一的速度波动;ACS的运动控制提高整个装备的运动稳定性;专业的组装、设计团队确保方案稳步推进;雷尼绍激光干涉仪提供运动精度报告。
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